1. 亂流式(Turbulent Flow)：空氣由空調(diào)機(jī)箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室內(nèi)的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級為：1,000-100,000級。


優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本比較低，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所需提高潔凈等級，可結(jié)合潔凈工作臺來提高潔凈室等級。


缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求的潔凈度，往往須相當(dāng)長一段時(shí)間。


2.層流式(Laminar)：　空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)回風(fēng)柱回風(fēng)，此型式適合于級別比較高的潔凈室，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：


(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。


（2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。


3.復(fù)合式(Mixed Type)：　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式